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半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀

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半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀利用亮場(chǎng)和暗場(chǎng)顯微成像技術(shù),通過(guò)自動(dòng)化的圖像捕捉以及人工智能分析工具,為晶圓表面缺陷的檢測(cè)提供了快速且高效的解決方案。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-01-23
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀


半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀這款高度集成的桌面儀器利用亮場(chǎng)和暗場(chǎng)顯微成像技術(shù),通過(guò)自動(dòng)化的圖像捕捉以及人工智能分析工具,為晶圓表面缺陷的檢測(cè)提供了快速且高效的解決方案。設(shè)備主要用于檢測(cè)如襯底片和外延片的缺陷,包括位錯(cuò)、顆粒、凹坑、劃痕和污染等類型的瑕疵,并且可以根據(jù)客戶的需求進(jìn)行定制服務(wù)

光學(xué)成像系統(tǒng):

10X 遠(yuǎn)場(chǎng)消色差長(zhǎng)工距顯微鏡頭

0.8X 擴(kuò)視野相機(jī)轉(zhuǎn)接鏡筒

500萬(wàn)像素采集相機(jī)

LED同軸反射光源

輔助自動(dòng)聚焦激光傳感器

自動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái):包括4寸,6寸和8寸Wafer載物臺(tái)夾具1套


計(jì)算機(jī)系統(tǒng)



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